作者单位
摘要
1 洛阳师范学院 物理与电子信息学院,河南洛阳47000
2 北京卫星环境工程研究所,北京100094
3 重庆大学 光电工程学院,重庆400044
本文利用优化的种子层结构和工艺参数,以AlSc合金靶为靶源,以脉冲直流反应磁控溅射AlSc合金靶的方式在室温下制备了ScAlN薄膜,同时设计并制作了压电测试专用结构,解决了ScAlN腐蚀工艺不成熟的问题,结合X射线衍射仪、扫描电镜、能谱仪、准静态d33分析仪、纳米压痕法等方法表征了薄膜的结晶质量、组成成分和机电耦合系数等性能。由表征结果可知,所制备的Sc0.35Al0.65N薄膜具有高度c轴择优取向,摇摆曲线的半高宽低至2.167°,同时结晶致密,有少量贝壳状凸起。薄膜的压电常数d33-23.4 pC/N,机电耦合系数k332kt2分别为34.6%和25.7%,具有制备FBAR等高性能压电MEMS器件的潜力。
薄膜 磁控溅射 氮化铝钪 半高全宽 d33压电常数 film magnetron sputtering ScAlN Full Width Half Maximum(FWHM) piezoelectric constant d33 
光学 精密工程
2021, 29(1): 21
陈宇昕 1,2,*刘玉菲 1,2尚正国 1,2
作者单位
摘要
1 重庆大学 光电工程学院, 重庆 400044
2 重庆大学 光电技术及系统教育部重点实验室, 重庆 400044
为了制备出压电性能良好、c轴择优生长的氮化铝钪压电薄膜, 本文利用脉冲直流反应磁控溅射法制备了几组氮化铝钪薄膜, 通过控制变量, 并利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜和压电系数测试仪等测试设备, 研究了气体流量、功率、衬底温度、缓冲层结构以及掺钪对薄膜结晶质量及性能的影响, 优化了工艺参数。结果表明, 相比于钛铂缓冲层, 使用氮化铝/钛/铂缓冲层制备薄膜, 可以使摇摆曲线半高宽由2.62°降至2.38°。然后, 对钪掺杂机理进行了简单分析, 本文所制备氮化铝钪薄膜的纵向压电系数d33高达-10.5 pC/N, 是纯氮化铝压电系数的1.9倍, XRD图谱及SEM图像表明, 在该掺杂浓度下, 压电系数的提高主要是通过钪掺杂产生的晶格畸变引起, 而非改变了晶体结构。
压电薄膜 氮化铝钪 磁控溅射 工艺参数 pizeoelectric film ScAlN magnetron sputter process parameter 
光学 精密工程
2020, 28(9): 1924
范贤光 1,2,3,*方晓玲 1王昕 1,2,3陈宇欣 1[ ... ]胡雪亮 1
作者单位
摘要
1 厦门大学航空航天学院仪器与电气系, 福建 厦门 361005
2 传感技术福建省高等学校重点实验室, 福建 厦门 361005
3 厦门市光电传感技术重点实验室, 福建 厦门 361005
利用流式细胞术对细胞进行多色荧光分析时, 往往获得的是由多种组分荧光光谱混合的多元荧光光谱。 在对蓝细菌进行光谱流式检测时, 所测得的荧光光谱同时包含了多种未知荧光光谱, 且存在严重的光谱混叠。 为了获得蓝细菌中的主要组分光谱及其浓度, 提出主成分分析和多元曲线分辨相结合的方法, 对蓝细菌的流式荧光光谱进行处理。 该方法通过主成分分析获得蓝细菌的主要纯组分数量, 然后利用渐进因子分析寻找各组分的起始点和终止点, 并估计纯组分的初始光谱, 最后利用交替最小二乘结合其纯组分光谱的单峰性和非负性, 对初始估计的纯组分光谱进行迭代修正, 从而得到纯组分光谱及其组分浓度。 仿真和实验结果表明, 该方法能够准确地估计混合光谱中纯组分的个数并对其谱峰进行拟合, 进而准确地估计各个组分的浓度。 该方法不但适用于蓝细菌的光谱分析, 还可用于其他多元混合光谱体系的解析。
主成分分析 渐进因子分析 交替最小二乘法 蓝细菌 流式荧光光谱 PCA EFA ALS Cyanobacteria Flow fluorescence spectrum 
光谱学与光谱分析
2018, 38(12): 3790
Author Affiliations
Abstract
Beijing NARI SmartChip Microelectronics Company Limited, Beijing 102200, China
With the rapid development of optical elements with large capacity and high speed, the network architecture is of great importance in determing the performance of wavelength division multiplexing passive optical network (WDM-PON). This paper proposes a switching structure based on the tunable wavelength converter (TWC) and the arrayed- waveguide grating (AWG) for WDM-PON, in order to provide the function of opitcal virtual private network (OVPN). Using the tunable wavelength converter technology, this switch structure is designed and works between the optical line terminal (OLT) and optical network units (ONUs) in the WDM-PON system. Moreover, the wavelength assignment of upstream/downstream can be realized and direct communication between ONUs is also allowed by privite wavelength channel. Simulation results show that the proposed TWC and AWG based switching structure is able to achieve OVPN function and to gain better performances in terms of bite error rate (BER) and time delay.
光电子快报(英文版)
2015, 11(2): 130
作者单位
摘要
国网电力科学研究院 北京南瑞智芯微电子科技有限公司,北京 100192
组播业务的迅速增长对现有光网络的光路分配提出了更高的挑战.针对在大规模的光网络中,由于光组播路径中光信噪比过低导致传输层光链路无法正常工作,并由此带来“假性信令成功”的问题,提出了一种光信噪比受限的光组播路径分配机制.该机制充分利用光网络节点中光信噪比监测功能,在信令消息中携带光信噪比性能参量,并在光组播路径分配的信令过程中将光信噪比作为光波长分配的重要依据.通过该机制,控制平面在信令过程中充分考虑光信噪比因素,确保传输层的光组播路径得以顺利建立并正常工作.仿真结果表明,所提出的基于光信噪比感知的组播光路分配机制能够解决“假性信令成功”的问题,并有效降低光组播路径的阻塞率.
光通信 光网络 组播 光路分配 光信噪比 控制平面 信令 Optical communications Optical network Multicast Lightpath provisioning Optical signal to noise ratio Control plane Signaling 
光子学报
2014, 43(3): 0306004

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